污水處理廠設(shè)備臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧滅菌屬于生化氧化反應(yīng)，臭氧氧化分解細(xì)菌中葡萄糖氧化所必需的酶；還可以直接與細(xì)菌、病毒相互作用，破壞其細(xì)胞壁和RNA，分解DNA、RNA、蛋白質(zhì)、脂類、多糖等大分子聚合物，從而破壞細(xì)菌的代謝生長和繁殖；還能穿透細(xì)胞膜組織，侵入細(xì)胞膜，作用于外膜脂蛋白和內(nèi)膜脂多糖，引起細(xì)胞通透性畸變，導(dǎo)致細(xì)胞的溶解和死亡，溶解、變性和破壞死亡細(xì)菌中的遺傳基因、寄生菌株、寄生病毒顆粒、噬菌體、支原體和熱原（細(xì)菌和病毒的代謝產(chǎn)物、內(nèi)毒素）。從無菌技術(shù)對(duì)微生物作用的原理來看，可以分為三種：抑菌、滅菌和溶菌。臭氧作為消毒劑的應(yīng)用屬于細(xì)菌溶解。

污水處理廠設(shè)備臭氧發(fā)生器的臭氧活性炭協(xié)同降解有機(jī)物處理技術(shù)，在每升含有臭氧的水中懸浮幾毫克的活性炭或炭黑，在水中會(huì)引發(fā)鏈反應(yīng)，并加速臭氧轉(zhuǎn)化為羥基自由基，由此導(dǎo)致了臭氧的氧化過程。與單獨(dú)的臭氧作用相比，臭氧活性炭技術(shù)對(duì)有機(jī)物的降解速率更快；但活性炭對(duì)有機(jī)物臭氧化影響作用與有機(jī)物種類有關(guān)，對(duì)與臭氧反應(yīng)速率越小的有機(jī)物其作用越顯著，例如臭氧活性炭對(duì)乙酸鈉的降解速率是單臭氧氧化降解速率的5倍，而對(duì)苯酸鉀、氯苯甲酸的臭氧氧化速率與單獨(dú)臭氧氧化比較提高不到1倍。另外加入活性炭還能使臭氧水處理有一定的絮凝作用，臭氧活性炭工藝多用于市政污水的提標(biāo)改造。